產(chǎn)品主要作用：用于等離子干刻工序;在很低溫度下作為低溫流體用;也用于中性及惰性氣體

產(chǎn)品中文名：四氟化碳

產(chǎn)品英文名：Tetrafluoromethane

化學式：CF4

CAS號：75-73-0

UN 號：1982

純度：99.999%

閥門型號：CGA580/DISS716