純度：99.9999% 和 99.999% 

閥門規(guī)格：CGA580/CGA350

主要作用：用作標(biāo)準(zhǔn)氣、零點(diǎn)氣、平衡氣；用于半導(dǎo)體器件制備工藝中晶體生長(zhǎng)、熱氧化、外延、擴(kuò)散、氮化、噴射、等離子干刻、載流、退火、搭接、燒結(jié)等工序；特種混合氣與工業(yè)混合氣也使用氫