產(chǎn)品主要作用：在半導(dǎo)體器件制備工藝中用于熱氧化、擴(kuò)散、化學(xué)氣相淀積、等離子干刻等工序

產(chǎn)品中文名：氧氣

產(chǎn)品英文名：Oxygen

化學(xué)式：O2

CAS號：7782-44-7

UN 號：1072

純度：99.9999%

閥門型號：CGA580